抛光液-解决方案


线路应用

芯片工艺中,所有需要CMP的工序,如Cu CMP, W CMP, ILD CMP, STI CMP,芯越微均有对应产品,详情请联系我们。

硅片应用

硅片抛光工艺中,包含了粗抛、精抛与边抛。 如您想了解各工艺对应产品,请联系我们。

衬底应用

衬底材料包括了蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂、碳化硅、氮化铝、氮化镓、砷化镓、磷化铟等。 如您想了解各衬底材料对应的抛光产品,请联系我们。

抛光后清洗应用

抛光后清洗是抛光工艺中很重要的一道工序,清洗的效果越好,有助于良率的提升。 如您正在寻找清洗液,请联系我们。